Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V),packaged for use in deposition systems
Artikelnummer: 668990-10G
Mengeneinheit: 1 X 10 g
Verpackung: 10 g in stainless steel cylinder
Synonyme: CVD_ALD_Precursors; CVD_deposition_system; 169896-41-7; OMTA082
CAS-Nummer: 169896-41-7
Hersteller: Sigma-Aldrich
Herstellernummer: 668990-10G
Summenformel: (CH₃)₃CNTa(N(C₂H₅)₂)₃
Gefahrengutklasse: 4.3
Packgruppe: II
UN-Nummer: 3398
Lagertemperatur: ROOM TEMPERATURE
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