Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V),99%, ≥99.99% trace metals basis

Artikelnummer: 521280-5ML

Mengeneinheit: 1 X 5 mL

Verpackung: 5 mL in ampule

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Synonyme: CVD_ALD_Precursors; 169896-41-7; sc-229641; 43419; OMTA082

CAS-Nummer: 169896-41-7

Hersteller: Sigma-Aldrich

Herstellernummer: 521280-5ML

Summenformel: (CH₃)₃CNTa(N(C₂H₅)₂)₃

Gefahrengutklasse: 4.3

Packgruppe: II

UN-Nummer: 3398

Lagertemperatur: ROOM TEMPERATURE

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