Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V),packaged for use in deposition systems
Numéro d'article : 668990-10G
Unité de mesure : 1 X 10 g
Emballage : 10 g in stainless steel cylinder
Synonymes : CVD_ALD_Precursors; CVD_deposition_system; 169896-41-7; OMTA082
Numéro CAS : 169896-41-7
Fabricant : Sigma-Aldrich
Numéro du fabricant : 668990-10G
Formule chimique : (CH₃)₃CNTa(N(C₂H₅)₂)₃
Classe de marchandises dangereuses : 4.3
Groupe d'emballage : II
Numéro UN : 3398
Température de stockage : ROOM TEMPERATURE
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